Der MSA-600-S ist ein spezialisiertes optische Messsystem zur Echtzeit-Analyse des wahren Schwingverhaltens von Mikrosystemen und MEMS bis zu 8 GHz sowie der Oberflächencharakterisierung und Auswertung der Formparameter.

Präzision in den Superhochfrequenz-Bereich bringen

B&K Messtechnik GmbH

Mit dem MSA-600-S Micro System Analyzer präsentiert Polytec eine revolutionäre Lösung für die präzise Charakterisierung von GHz-MEMS-Bauelementen.

Als weltweit erstes kommerziell verfügbares Laservibrometer für den Superhochfrequenz-Bereich (SHF) ermöglicht das MSA-600-S Echtzeit-Schwingungsmessungen bis zu 8 GHz – kombiniert mit hochauflösender 3D-Topografiemessung. Diese bahnbrechende Technologie liefert Entwicklern völlig neue Einblicke in das reale Schwingungsverhalten von FBAR (Film Bulk Acoustic Resonators), BAW (Bulk Acoustic Wave)- und SAW (Surface Acoustic Wave)-Filtern.

Warum ist das wichtig?
Mikroakustische Bauelemente wie SAW-, BAW- und FBAR-Resonatoren sind essenzielle Bestandteile moderner Hochfrequenztechnologien, die zum Beispiel in der 5G-Kommunikation, IoT- Anwendungen und Sensorik eine entscheidende Rolle spielen.
Ihre mechanischen Auslenkungen im Sub-Nanometer-Bereich sind eng mit der Funktionalität und Effizienz dieser Bauelemente verknüpft. Ungenauigkeiten oder Störungen können die Filterqualität und damit die Leistung der Endanwendung beeinträchtigen.
Das MSA-600-S ermöglicht eine kontaktlose und zerstörungsfreie Analyse, um das dynamische Verhalten dieser hochfrequenten Strukturen exakt zu erfassen. Mit der SHF-Messlösung können Entwickler:

  • Resonanzfrequenzen und Modenformen präzise analysieren.
  • Materialeigenschaften validieren und optimieren.
  • Designparameter anpassen, um Effizienz und Leistung zu steigern.

Einzigartige Kombination: Schwingungs- und 3D-Topografiemessung

Neben der Schwingungsanalyse erfasst das MSA-600-S die Topografie der Bauelemente mit höchster Präzision. Dies ist entscheidend, um Deformationen oder Defekte zu identifizieren, die die Funktionalität beeinträchtigen könnten. Dank dieser Kombination bietet das MSA-600-S einen ganzheitlichen Ansatz für die Charakterisierung und Optimierung von GHz-MEMS.

Fazit
Das MSA-600-S definiert den Standard für die Entwicklung von GHz-MEMS neu. Es hilft Entwicklern, die komplexen Wechselwirkungen zwischen mechanischen, akustischen und elektrischen Eigenschaften besser zu verstehen und ihre Bauelemente effizienter und zuverlässiger zu gestalten. Erfahren Sie mehr über die bahnbrechenden Möglichkeiten des MSA-600-S und bringen Sie Ihre Forschung und Entwicklung auf das nächste Level. Mehr Infos mittels untenstehendem QR-Code.

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